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光刻机用高平行度UV光源

1.产品简介

1)、强度高,均匀性高;

2)、寿命长、稳定性好,经济环保;

3)、光源无需预热,曝光速度快且方式灵活。


2、参数

尺寸:可定制

曝光面积:可定制

中心波长:365(可定制)

照明强度:30mw/cm2(默认,可更高)

均匀性:97%

平行半角:2.5°(可定制)

额定功率:≥300W

接口方式:电平信号

散热方式:风冷

 

3.光刻机用高平行度UV光源技术规格表

    
项目 4寸 6寸 8寸
光照面积(有效面积)  φ102mm 153×153 φ200mm
光照均匀性 ≥97% ≥98%(φ153)
≥97%(153×153)
≥97%
中心波长 365±5nm 365±5nm 365±5nm
强度 ≥30mw/cm2 ≥30mw/cm2 ≥25mw/cm2
平行半角范围 <2.0° <2.0° <2.0°
光偏角 <1.0° <1.0° <1.0°
能量稳定性 ≥98% ≥98% ≥98%
工作距 40-90mm 68±2mm 68±2mm
保固期 2年 2年 2年
保固期内光强衰减 ≤30% ≤30% ≤30%
额定电功率 ≤300W ≤300W ≤300W
控制方式 电平 电平 电平